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软体机器人科技 RB100ASA3-185-300-V01-DNN 工业机器人与机械臂图1

软体机器人科技 RB100ASA3-185-300-V01-DNN 工业机器人与机械臂

100
价格 ¥0.00
发货 北京
该商品库存不足
商品详情

产品介绍

RB100 系列为半导体行业晶圆传输开发的专用机械手,具备完全自主的知识产权。产品已通过 SEMI S2认证。RB100具备较为丰富的产品序列,包含了单臂、双臂、末端翻转、防水等 不同的机型,搭配自主设计的末端拾取器,可实现 300mm 及以下各种材质和厚度晶圆的可靠传输。

SRT RB100ASA3-185-300-V01-DNN,晶圆搬运机械手 RB100。机械手臂类型:单臂(带翻转);被搬运物:≤ 300mm;晶圆吸附方式:真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式;机械结构格式:水平多关节;电机类型:AC 伺服电机。

规格参数

型号RB100ASA3-185-300-V01-DNN
机械手臂类型单臂(带翻转)
被搬运物≤ 300mm
晶圆吸附方式真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式
机械结构格式水平多关节
电机类型AC 伺服电机
重复性精度±0.06mm 以内
控制通讯方式RS232/RS485/TCP/IP
洁净度ISO 标准 Class1( 驱动结构内部独立排气条件下 )
厂务电源 AC220V 5A,真空 优于 -53Kpa
重量≈ 32Kg

软体机器人科技 RB100ASA3-185-300-V01-DNN 工业机器人与机械臂

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苏州软体机器人科技有限公司

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