产品介绍

晶圆 FORK(又称牙叉、晶圆拾取器等)是安装在晶圆机械手末端用来取放晶圆的执行器。具有高洁净 度、高平面度和重量轻等特点,一般由氧化铝陶瓷、不锈钢、铝合金等材质构成。 微法尔团队具备丰富的 FORK 设计经验,产品执行原理涵盖了真空吸附、伯努利吸附、机械夹持、范德华力等多种方式。在实际应用中对以上几种原理进行设计整合,对于大翘曲、非接触、 微接触等要求可提供订制解决方案。

SRT FK100V，晶圆机械手末端执行器 FORK。晶圆拾取方式：真空吸附；晶圆尺寸：4"~12" 可订制；晶圆接触等级：多点接触；适用晶圆类型：无翘曲各类型晶圆；材质：氧化铝陶瓷、高硬度合金铝、碳钎维等 ( 支持材质订制 )。

规格参数