产品介绍
RB100 系列为半导体行业晶圆传输开发的专用机械手,具备完全自主的知识产权。产品已通过 SEMI S2认证。RB100具备较为丰富的产品序列,包含了单臂、双臂、末端翻转、防水等 不同的机型,搭配自主设计的末端拾取器,可实现 300mm 及以下各种材质和厚度晶圆的可靠传输。
SRT RB100ASD2-185-300-V01V01-DNN，晶圆搬运机械手 RB100。机械手臂类型：双臂(带上翻转)；被搬运物：≤ 300mm；晶圆吸附方式：真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式；机械结构格式：水平多关节；电机类型：AC 伺服电机。
规格参数
| 型号 | RB100ASD2-185-300-V01V01-DNN |
|---|---|
| 机械手臂类型 | 双臂(带上翻转) |
| 被搬运物 | ≤ 300mm |
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式 |
| 机械结构格式 | 水平多关节 |
| 电机类型 | AC 伺服电机 |
| 重复性精度 | ±0.06mm 以内 |
| 控制通讯方式 | RS232/RS485/TCP/IP |
| 洁净度 | ISO 标准 Class1( 驱动结构内部独立排气条件下 ) |
| 厂务 | 电源 AC220V 5A,真空 优于 -53Kpa |
| 重量 | ≈ 43Kg |
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